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小型真空泵指的就是微型真空泵,因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵(即小型真空泵)是指:具備一進(jìn)一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個,并且在進(jìn)口處能夠持續(xù)形成真空或負(fù)壓;排氣嘴處形成微正壓;工作介質(zhì)主要為氣體,體積小巧的一種儀器。
在每種旋片真空泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的構(gòu)造方式和參數(shù)不同,泵的極限壓力和用處也不同。它們的共同特點是構(gòu)造較復(fù)雜,運用方便,能從大氣壓力下起動,可間接排入大氣,公平質(zhì)量較小,維護(hù)簡便,雙級泵的極限壓力為6*10-2~1*10-2Pa,一種單級泵可達(dá)4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。